找回密码

ASML揭秘1.2亿美元一台的EUV光刻机:10万零部件、配送时间两年

如果我们可以搞定光刻机

荷兰ASML(阿斯麦)是全球唯一的EUV光刻机制造商,中芯国际的7nm工艺虽然已经技术开发完成,但目前卡脖子的最关键一环就是买不到EUV。在最新的媒体交流活动中,ASML技术开发副总裁Tony Yen披露了一些EUV光刻机不为人知的细节。

EUV即极紫外光刻,它是借助13.5nm波长极紫外光在硅晶圆上蚀刻数十亿规模的微缩结构。

按照Yen的说法,当前ASML的EUV光刻机单台售价1.2亿美元(约合7.8亿元)左右,由超过10万个精密零部件组成

Yen笑着表示,买我们的EUV光刻机可不是今天下单,两天内送达,通常需要两年的时间才能配送到货,发运是需要多达40个集装箱。

据悉,世界上第一台EUV光刻机2010年在三星装配,第二台2011年进驻台积电。谈及摩尔定律,ASML认为至少还能延续10年。

ASML揭秘1.2亿美元一台的EUV光刻机:10万零部件、配送时间两年

http://xzh.i3geek.com

重要提醒:文章部分内容及图片来源于网络,我们尊重作者版权,若有疑问可与我们联系。侵权及不实信息举报邮箱至:aiskr@aiskr.com

相关推荐